특수코팅
코팅
코팅은 장비 또는 부품 표면에 특수 코팅 처리를 통해 부품의 수명 연정, 공정의 안정, Particle 감소, 수율 향상, 생산성 향상을
할 수 있는 필수적인 공정 입니다.
주요 코팅으로는 APS, SPS, ARC, Anodizing Coating 등이 있으며, 디에프텍은 고객사의 Needs에 맞는 코팅 솔루션을 제공
하고 있습니다.
주요 코팅기술
구분 | APS Coating | SPS Coating | ARC Coating | Anodizing Coating |
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사용 목적 | 부품의 플라즈마 저항 특성 부여를 통한 파티클 발생 제어 및 공정 안정 | 부품의 플라즈마 저항 특성 부여를 통한 파티클 발생 제어 및 공정 안정 | 모재와 ARC 코팅 면간 접착력을 향상시켜 오염물 증착 향상으로 파티클 제어 효과 향상 | 반도체 부품의 절연 및 외관 보호 형성 |
코팅 구분 | Y2O3, YAG, YF3-Ⅰ/Ⅱ 外 | Y2O3, YAG, YF3-Ⅰ/Ⅱ 外 | Al Wire 용사 | 황산법, 혼산법, 수산법 |
주요 특징 | 내플라즈마 저항 특성 우수 | 내플라즈마 저항 특성 우수 Powder Size를 감소시켜 코팅 밀도를 개선한 방법 | 오염물 증착 향상 (Depo) 파티클 제어 효과 | 절연성, 내식성 우수 |
코팅 물성
구분 | APS-Ⅰ | APS-Ⅱ | SPS | ||
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Y2O3 | YAG | Y2O3 | YAG | Y2O3 | |
Powder Size | |||||
표면 확대 (x 1,000) | |||||
Roughness (Ra _ ㎛) | 4.0 ~ 4.5 | 4.0 ~ 4.5 | 3.0 ~ 3.5 | 3.0 ~ 3.5 | 2.0 ~ 2.5 |
Cross Section | |||||
Porosity (%) | 3 ~ 4 | 3 ~ 4 | 2 ~ 3 | 2 ~ 3 | 0.3 ~ 0.5 |
Hardness (Hv) | 400 ~ 500 | 600 ~ 700 | 400 ~ 500 | 600 ~ 700 | 700 ~ 800 |
Adhesion (Mpa) | 3 ~ 5 | 9 ~ 11 | 4 ~ 6 | 9 ~ 11 | 4 ~ 6 |
특수코팅 Road Map
특수코팅 Road Map_기술사항
구분 | 32㎚ | 16㎚ | 14㎚ | 5㎚ |
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Porosity (%) | 4 ~ 5 | 3 ~ 4 | 0.5% | 0% |
Hardness (Hv) | 300 | 400 | 500 | 1,000 |
Powder Size (㎛) | 30 ~ 35 | 25 ~ 30 | 2 | - |
Image | Pellet / Target | |||
종류 | APSⅠ-Y2O3 APSⅠ-YAG | APS YF3 Ⅰ APS YF3 Ⅱ APSⅡ-Y2O3 APSⅡ-YAG | SPS Y2O3 | PVD Y2O3 |
세대 | Conventional | Generation | Generation | Generation |